SURF-CAL™ 標準微粒聚苯乙烯微球

簡要描述：SURF-CAL™ 標準微粒聚苯乙烯微球
Thermo Scientific™ SURF-CAL™ 尺寸標準品用于校準和維護掃描表面測試系統(tǒng) (SSIS)，可以簡化校準晶片的準備工作?？商峁┑奈⒘３叽缗c儀器生產(chǎn)商要求的校準點大小一致。

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SURF-CAL™ 標準微粒聚苯乙烯微球

Thermo Scientific™ SURF-CAL™ 尺寸標準品用于校準和維護掃描表面測試系統(tǒng) (SSIS)，可以簡化校準晶片的準備工作。可提供的微粒尺寸與儀器生產(chǎn)商要求的校準點大小一致。

Thermo Fisher Scientific™ 以及半導體行業(yè)和 SEMI 共同確定了校準掃描表面測試系統(tǒng)時所使用的特定粒徑。我們與儀器制造商一起合作，共同開發(fā)了這一套符合 SEMI 指南要求的 SURF-CAL™ 系列產(chǎn)品。

可提供的微粒尺寸包括半導體國際技術藍圖 (ITRS) 定義的關鍵的尺寸節(jié)點的大小。
將 SURF-CAL™ NIST™ 可溯源聚苯乙烯微球 (PSL) 置于特別選定的晶片上，您就可以執(zhí)行定期校準檢查，并可將您的掃描儀與其他地方的掃描儀進行對比。
您也可以在生產(chǎn)過程中的關鍵階段對 SSIS 系統(tǒng)進行性能評估。
這一系列標準品懸浮于去離子水中，以終濃度為 3 × 10⁸ 粒子/mL 的 50mL 瓶裝規(guī)格提供。

備注：

PD1100 系列產(chǎn)品以及更小的粒子均以濃度為10¹⁰粒子/mL 的規(guī)格提供，主要用于微分遷移率分析儀 (DMA) 或其他尺寸排阻技術作為輔助手段的應用。